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關(guān)于Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī) SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子體清洗機(jī)基于勞倫斯伯克利國(guó)家實(shí)驗(yàn)室開發(fā)的高效電感耦合等離子體（ICP）放電技術(shù)。與傳統(tǒng) ICP 放電技術(shù)相比，我們的 Turbo Discharge™技術(shù)進(jìn)一步提高了等離子體強(qiáng)度多達(dá) 3 倍。

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EM-KLEEN等離子體清洗機(jī)可用于電子顯微鏡和其他類型分析儀器（如 SEM、FIB、TEM、XPS 和西姆斯）的樣品和真空室的原位清潔。它可以有效地去除高真空或超高真空室中的碳?xì)浠衔锖头蓟衔镂廴疚铮岣邩O限真空水平，減少抽氣時(shí)間。它還可以在表面成像和分析之前去除樣品表面上的有機(jī)污染物。該系統(tǒng)包括一個(gè)電阻式液晶觸摸屏控制器與嵌入式微計(jì)算機(jī)和遠(yuǎn)程等離子體源。應(yīng)在待清潔的真空室上安裝遠(yuǎn)

Tergeo-EM TEM/SEM 等離子體清洗機(jī)專為研究、開發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。在表面清洗、活化、有機(jī)污染物去除、粘合增強(qiáng)和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護(hù)設(shè)計(jì)和低擁有成本，提供了長(zhǎng)期價(jià)值。

Tergeo-Pro桌面等離子清洗機(jī)和蝕刻機(jī)專為研究、開發(fā)和小批量生產(chǎn)而量身定制。Tergeo系列桌面等離子清洗機(jī)在表面清洗、活化、有機(jī)污染物去除、粘合增強(qiáng)和光刻膠灰化方面表現(xiàn)出色。其精度和多功能性使其成為納米技術(shù)、材料科學(xué)、微加工和故障分析應(yīng)用的理想選擇。憑借免維護(hù)設(shè)計(jì)和低擁有成本，Tergeo 系統(tǒng)提供了長(zhǎng)期價(jià)值。