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NV-中心共聚焦低溫顯微鏡的工作原理是將激光束穿過光源孔徑，該光源孔徑由物鏡聚焦到樣品表面的小區(qū)域，并通過收集樣品表面發(fā)射的光子逐像素構(gòu)建圖像。 LT-SCM 提供高分辨率圖像，整個(gè)視場內(nèi)所有區(qū)域都聚焦，即使對(duì)于表面有凹痕和突起的樣品也是如此。它可以在可變溫度下進(jìn)行非接觸式和無損測量。