勻膠旋涂儀設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)為結(jié)構(gòu)緊湊、簡單易用，程控操作，且能夠升級(jí)自動(dòng)點(diǎn)膠功能，尺寸上可從通用的手套箱過渡艙內(nèi)進(jìn)出，具有優(yōu)異的性價(jià)比。亦可提供分體式設(shè)計(jì)，進(jìn)行嵌入式安裝，與手套箱進(jìn)行配合。該款產(chǎn)品已在老款型號(hào)上進(jìn)行了升級(jí)，外型進(jìn)行了變化，轉(zhuǎn)速及加速度得到了提高，真空腔進(jìn)一步改善從而不易堵膠。
　　勻膠旋涂儀價(jià)格實(shí)惠，操作簡單，結(jié)構(gòu)小巧緊湊，占地空間小，為實(shí)驗(yàn)室提供了理想的解決方案。該款勻膠旋涂儀采用創(chuàng)新設(shè)計(jì)的托盤，無需真空泵或充氮?dú)猓湍苓_(dá)到很好的旋涂效果；內(nèi)置調(diào)整水平裝置，較大限度的保證旋涂均勻；可對大小不同規(guī)格的基片進(jìn)行旋涂。勻膠旋涂儀用于實(shí)驗(yàn)室項(xiàng)目建設(shè).作為用于除半導(dǎo)體外,還有硅片、芯片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝，科研、教學(xué)之用高精度涂敷。
　　勻膠旋涂儀特點(diǎn)：
　　（1）外觀整潔、美觀，占地面積小，節(jié)省超凈間的使用面積；
　　（2）材質(zhì)易于清洗和維護(hù)，設(shè)備結(jié)構(gòu)布局合理，用戶操作、使用、維修方便；
　　（3）采用成熟、可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式，確保設(shè)備工作的可靠性；
　　（4）設(shè)備具備高性能、低故障率、長使用壽命、易操作維修、造型美觀、售后服務(wù)完備。
　　勻膠旋涂儀主要用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類以下尺寸的基片處理要求，并配制相應(yīng)的托盤夾具。驗(yàn)收除按賣方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外，另外可根據(jù)買方要求的 10mm 的碎片和4英寸的晶圓片等驗(yàn)收試驗(yàn)要求。
　　勻膠旋涂儀提供了先進(jìn)、、可重復(fù)的工藝流程控制方案。 一個(gè)的空氣動(dòng)力學(xué)腔體確保旋涂的高度均勻性，天然聚丙烯（NPP）或聚四氟乙烯（PTFE）材質(zhì)，整機(jī)無金屬裸露，無交叉污染，易清洗維護(hù)，為用戶帶來全新的操作體驗(yàn)。